书目信息 |
| 题名： |
微机电系统设计与制造
|
|
| 作者： | 刘晓明 ， 朱钟淦 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 国防工业出版社 2006.1 |
|
| 页数： | XII,371页 | |
| 开本： | 23cm | |
| 丛书名： | 研究生系列规划教材 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TM38-43 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电机--wei dian ji--高等学校--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-118-04121-1 | |
| 000 | 01121nam 2200301 450 | |
| 001 | CAL 012006089838 | |
| 005 | 20061114153738.46 | |
| 010 | @a7-118-04121-1@dCNY32.00 | |
| 100 | @a20061012d2006 em y0chiy0120 ea | |
| 101 | 0 | @achi |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @aa a 000yy | |
| 200 | 1 | @a微机电系统设计与制造@Awei ji dian xi tong she ji yu zhi zao@f刘晓明, 朱钟淦编著 |
| 210 | @a北京@c国防工业出版社@d2006.1 | |
| 215 | @aXII,371页@c图@d23cm | |
| 225 | 2 | @a研究生系列规划教材@Ayan jiu sheng xi lie gui hua jiao cai |
| 300 | @a电子科技大学研究生系列教材建设项目 | |
| 320 | @a有书目 (第369-371页) | |
| 330 | @a本书概要地介绍MEMS的设计与制造, 全书共分7章, 内容包括: MEMS的概论, MEMS的设计, 集成电路(IC)基本制造技术, MEMS的制造技术, 微传感器等。 | |
| 333 | @a阅读对象: 非微电子专业高年级本科生等 | |
| 410 | 0 | @12001 @a研究生系列规划教材 |
| 510 | 1 | @aMEMS design and manufacture@zeng |
| 606 | 0 | @a微电机@Awei dian ji@x高等学校@j教材 |
| 690 | @aTM38-43@v4 | |
| 701 | 0 | @a刘晓明@Aliu xiao ming@4编著 |
| 701 | 0 | @a朱钟淦@Azhu zhong gan@4编著 |
| 801 | 0 | @aCN@c20061114 |
| 905 | @a10447@dTM38-43@eL694 | |
| 微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著.-北京：国防工业出版社，2006.1 |
| XII,371页：图；23cm.-(研究生系列规划教材) |
| 电子科技大学研究生系列教材建设项目.-使用对象：阅读对象: 非微电子专业高年级本科生等 |
| ISBN 7-118-04121-1：CNY32.00 |
| 本书概要地介绍MEMS的设计与制造, 全书共分7章, 内容包括: MEMS的概论, MEMS的设计, 集成电路(IC)基本制造技术, MEMS的制造技术, 微传感器等。 |
| ● |
| 相关链接 |
|
|
|
正题名：微机电系统设计与制造
索取号：TM38-43/L694
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 635773 | 206357734 | 自科库301/301自科库 14排3列4层/ [索取号:TM38-43/L694] | 在馆 | |
| 2 | 635774 | 206357743 | 自科库301/301自科库 14排3列4层/ [索取号:TM38-43/L694] | 在馆 | |
| 3 | 635775 | 206357752 | 自科二线404/404自科库 18排5列5层/ [索取号:TM38-43/L694] | 在馆 |