书目信息 |
题名: |
微机电系统设计与制造
|
|
作者: | 刘晓明 , 朱钟淦 编著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 国防工业出版社 2006.1 |
|
页数: | XII,371页 | |
开本: | 23cm | |
丛书名: | 研究生系列规划教材 | |
单 册: | ||
中图分类: | TM38-43 | |
科图分类: | ||
主题词: | 微电机--wei dian ji--高等学校--教材 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 7-118-04121-1 |
000 | 01121nam 2200301 450 | |
001 | CAL 012006089838 | |
005 | 20061114153738.46 | |
010 | @a7-118-04121-1@dCNY32.00 | |
100 | @a20061012d2006 em y0chiy0120 ea | |
101 | 0 | @achi |
102 | @aCN@b110000 | |
105 | @aa a 000yy | |
200 | 1 | @a微机电系统设计与制造@Awei ji dian xi tong she ji yu zhi zao@f刘晓明, 朱钟淦编著 |
210 | @a北京@c国防工业出版社@d2006.1 | |
215 | @aXII,371页@c图@d23cm | |
225 | 2 | @a研究生系列规划教材@Ayan jiu sheng xi lie gui hua jiao cai |
300 | @a电子科技大学研究生系列教材建设项目 | |
320 | @a有书目 (第369-371页) | |
330 | @a本书概要地介绍MEMS的设计与制造, 全书共分7章, 内容包括: MEMS的概论, MEMS的设计, 集成电路(IC)基本制造技术, MEMS的制造技术, 微传感器等。 | |
333 | @a阅读对象: 非微电子专业高年级本科生等 | |
410 | 0 | @12001 @a研究生系列规划教材 |
510 | 1 | @aMEMS design and manufacture@zeng |
606 | 0 | @a微电机@Awei dian ji@x高等学校@j教材 |
690 | @aTM38-43@v4 | |
701 | 0 | @a刘晓明@Aliu xiao ming@4编著 |
701 | 0 | @a朱钟淦@Azhu zhong gan@4编著 |
801 | 0 | @aCN@c20061114 |
905 | @a10447@dTM38-43@eL694 | |
微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著.-北京:国防工业出版社,2006.1 |
XII,371页:图;23cm.-(研究生系列规划教材) |
电子科技大学研究生系列教材建设项目.-使用对象:阅读对象: 非微电子专业高年级本科生等 |
ISBN 7-118-04121-1:CNY32.00 |
本书概要地介绍MEMS的设计与制造, 全书共分7章, 内容包括: MEMS的概论, MEMS的设计, 集成电路(IC)基本制造技术, MEMS的制造技术, 微传感器等。 |
● |
相关链接 |
正题名:微机电系统设计与制造
索取号:TM38-43/L694
 
预约/预借
序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
1 | 635773 | 206357734 | 自科库301/301自科库 9排1列1层/ [索取号:TM38-43/L694] | 在馆 | |
2 | 635774 | 206357743 | 自科库301/301自科库 9排1列1层/ [索取号:TM38-43/L694] | 在馆 | |
3 | 635775 | 206357752 | 自科二线404/404自科库 18排5列5层/ [索取号:TM38-43/L694] | 在馆 |