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000
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01121nam 2200301 450
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001
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CAL 012006089838
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005
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20061114153738.46
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010
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@a7-118-04121-1@dCNY32.00
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100
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@a20061012d2006 em y0chiy0120 ea
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101
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0
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@achi
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102
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@aCN@b110000
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@aa a 000yy
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1
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@a微机电系统设计与制造@Awei ji dian xi tong she ji yu zhi zao@f刘晓明, 朱钟淦编著
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210
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@a北京@c国防工业出版社@d2006.1
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215
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@aXII,371页@c图@d23cm
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225
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2
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@a研究生系列规划教材@Ayan jiu sheng xi lie gui hua jiao cai
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300
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@a电子科技大学研究生系列教材建设项目
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320
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@a有书目 (第369-371页)
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330
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@a本书概要地介绍MEMS的设计与制造, 全书共分7章, 内容包括: MEMS的概论, MEMS的设计, 集成电路(IC)基本制造技术, MEMS的制造技术, 微传感器等。
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333
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@a阅读对象: 非微电子专业高年级本科生等
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410
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0
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@12001 @a研究生系列规划教材
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510
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1
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@aMEMS design and manufacture@zeng
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606
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0
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@a微电机@Awei dian ji@x高等学校@j教材
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690
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@aTM38-43@v4
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701
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0
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@a刘晓明@Aliu xiao ming@4编著
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701
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@a朱钟淦@Azhu zhong gan@4编著
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801
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0
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@aCN@c20061114
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905
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@a10447@dTM38-43@eL694
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| 微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著.-北京：国防工业出版社，2006.1 |
| XII,371页：图；23cm.-(研究生系列规划教材) |
| 电子科技大学研究生系列教材建设项目.-使用对象：阅读对象: 非微电子专业高年级本科生等 |
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| ISBN 7-118-04121-1：CNY32.00 |
| 本书概要地介绍MEMS的设计与制造, 全书共分7章, 内容包括: MEMS的概论, MEMS的设计, 集成电路(IC)基本制造技术, MEMS的制造技术, 微传感器等。 |
| ● |
正题名：微机电系统设计与制造
索取号：TM38-43/L694
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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635773
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206357734
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自科库301/301自科库 12排2列1层/
[索取号:TM38-43/L694]
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在馆
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2
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635774
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206357743
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自科库301/301自科库 12排2列1层/
[索取号:TM38-43/L694]
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在馆
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3
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635775
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206357752
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自科二线404/404自科库 18排5列5层/
[索取号:TM38-43/L694]
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在馆
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