书目信息 |
题名: |
先进纳米薄膜材料
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作者: | 林媛 , 陈新 主编 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 化学工业出版社 2017.03 |
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页数: | 16,309页 | |
开本: | 25cm | |
丛书名: | 先进功能材料丛书 | |
单 册: | ||
中图分类: | TB383 | |
科图分类: | ||
主题词: | 纳米材料--薄膜--制备--英文 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-122-29158-5 |
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先进纳米薄膜材料=Advanced nano deposition methods:制备方法及应用/林媛,陈新主编.-北京:化学工业出版社,2017.03 |
16,309页:图;25cm.-(先进功能材料丛书) |
“十二五”国家重点图书.-使用对象:本书适合材料、微电子等相关专业的研究生、科技人员和教学人员使用 |
ISBN 978-7-122-29158-5(精装):CNY298.00 |
本书总结了纳米薄膜材料的国内外研究最新进展,既详细地介绍了纳米薄膜材料的制备方法,又介绍了它们在电子器件领域的应用。系统阐述了薄膜及纳米结构的一系列制备技术,不仅包括溶胶凝胶法、MOCVD、电子束沉积等技术。 |
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正题名:先进纳米薄膜材料
索取号:TB383/L525
 
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