|
000
|
01216nam0 2200301 450
|
|
001
|
25240
|
|
005
|
20220918171735.20
|
|
010
|
|
@a978-7-118-12322-7@b精装@dCNY119.00
|
|
100
|
|
@a20211213d2021 em y0chiy50 ea
|
|
101
|
1
|
@achi@ceng
|
|
102
|
|
@aCN@b110000
|
|
105
|
|
@aaf a 000yy
|
|
200
|
1
|
@a纳米加工技术与原理@Ana mi jia gong ji shu yu yuan li@d= Nanofabrication: techniques and principles@f(加拿大) Maria Stepanova, Steven Dew编@g段辉高 ... [等] 译@zeng
|
|
210
|
|
@a北京@c国防工业出版社@d2021.07
|
|
215
|
|
@aXII, 318页, 10页图版@c图@d24cm
|
|
300
|
|
@a装备科技译著出版基金
|
|
304
|
|
@aStepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃 Dew规范汉译姓: 德夫
|
|
306
|
|
@a由Springer授权出版
|
|
320
|
|
@a有书目
|
|
330
|
|
@a本书内容包括: 纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。
|
|
500
|
10
|
@aNanofabrication : techniques and principles@mChinese
|
|
606
|
0
|
@a纳米材料@Ana mi cai liao@x加工
|
|
690
|
|
@aTB383@v5
|
|
701
|
1
|
@a斯捷潘诺娃@Asi jie pan nuo wa@g(Stepanova, Maria)@4编
|
|
701
|
1
|
@a德夫@Ade fu@g(Dew, Steven)@4编
|
|
702
|
0
|
@a段辉高@Aduan hui gao@4译
|
|
801
|
0
|
@aCN@c20220910
|
|
905
|
|
@a河南城建学院图书馆@dTB383@eS708@f1
|
|
|
|
|
| |
| 纳米加工技术与原理= Nanofabrication: techniques and principles/(加拿大) Maria Stepanova, Steven Dew编/段辉高 ... [等] 译.-北京：国防工业出版社，2021.07 |
| XII, 318页, 10页图版：图；24cm |
| 装备科技译著出版基金 |
| |
| ISBN 978-7-118-12322-7(精装)：CNY119.00 |
| 本书内容包括: 纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。 |
| ● |
正题名：纳米加工技术与原理
索取号：TB383/S708
预约/预借
| 序号
|
登录号
|
条形码
|
馆藏地/架位号
|
状态
|
备注
|
|
1
|
1576071
|
215760718
|
自科库501/501自科库 14排2列1层/
[索取号:TB383/S708]
|
在馆
|
|
