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@a集束型晶圆制造装备调度及其优化算法@Aji shu xing jing yuan zhi zao zhuang bei diao du ji qi you hua suan fa@f李林瑛，卢睿著
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@a北京@c电子工业出版社@d2017.04
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@a328页@c图@d26cm
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@a辽宁省高等学校优秀人才支持计划、辽宁省教育厅科学研究一般项目、大连外国语大学科研基金项目对本书支持
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@a封面英文题名：Scheduling and optimation algorithm for cluster tools of wafer fabrication
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@a本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型晶圆制造装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。
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@aScheduling and optimation algorithm for cluster tools of wafer fabrication@zeng
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@a卢睿@Alu rui@4著
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@a河南城建学院图书馆@dTN305@eL208@f2
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| 集束型晶圆制造装备调度及其优化算法/李林瑛，卢睿著.-北京：电子工业出版社，2017.04 |
| 328页：图；26cm |
| 辽宁省高等学校优秀人才支持计划、辽宁省教育厅科学研究一般项目、大连外国语大学科研基金项目对本书支持 |
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| ISBN 978-7-121-31227-4：CNY69.00 |
| 本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型晶圆制造装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。 |
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正题名：集束型晶圆制造装备调度及其优化算法
索取号：TN305/L208
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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1344910
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213449106
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自科库301/301自科库 26排1列2层/
[索取号:TN305/L208]
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在馆
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2
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1344911
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213449115
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自科库301/301自科库 26排1列2层/
[索取号:TN305/L208]
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在馆
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