书目信息 |
| 题名： |
光刻胶材料评测技术
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| 作者： | 关口淳 著 ；方书农 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2024.04 |
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| 页数： | 254页 | |
| 开本： | 27cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TQ572.4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 光致抗蚀剂--guang zhi kang shi ji | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-122-43800-3 | |
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| 306 | @a本书中文简体字版由サイエンス& テクノロジー株式会社授权化学工业出版社独家出版发行 | |
| 314 | @a关口淳, 1983年毕业于芝浦工业大学工学部应用化学系。进入日本化学科技公司, 在其分析研究所工作。1985年加入住友GCA公司。负责光刻胶涂覆和显影装置的工艺开发。此后, 负责光刻胶显影分析仪和光刻模拟软件的开发。 | |
| 320 | @a有书目 | |
| 330 | @a本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。 | |
| 517 | 1 | @a从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶@Acong fen quan shu zhi guang ke jiao dao zui xin de EUV guang ke jiao |
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| 光刻胶材料评测技术：从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶/(日) 关口淳著/方书农译.-北京：化学工业出版社，2024.04 |
| 254页：图 (部分彩图)；27cm |
| ISBN 978-7-122-43800-3(精装)：CNY198.00 |
| 本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。 |
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正题名：光刻胶材料评测技术
索取号：TQ572.4/G543
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