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000
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001
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0155129156
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005
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20050820103422.12
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010
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@a7-313-02307-3@b精装@dCNY15.00
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100
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@a20050212d2000 km y0chiy0120 ea
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0
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@achi
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102
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@aCN@b310000
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105
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@aa z 000yy
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200
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1
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@a微机电系统及其相关技术@Awei ji dian xi tong ji qi xiang guan ji shu@f章吉良, 杨春生等编著@Fzhang ji liang,yang chun sheng deng bian zhu
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210
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@a上海@c上海交通大学出版社@d2000.01
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215
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@a156页@c图@d26cm
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300
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@a上海市研究生教育专项经费资助项目
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320
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@a有书目。
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330
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@a本书内容包括:微机电系统概论、MEMS的微加工技术、MEMS表现微加工技术、高深度比微加工技术等。
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333
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@a上海研究生教育用书
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606
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0
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@a机电系统@x基础知识
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606
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@a微电机@x基础知识
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@aTM38@v4
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701
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905
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@a10447@dTM38@eY156
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| 微机电系统及其相关技术/章吉良, 杨春生等编著.-上海:上海交通大学出版社,2000.01 |
| 156页:图;26cm |
| 上海市研究生教育专项经费资助项目.-使用对象:上海研究生教育用书 |
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| ISBN 7-313-02307-3(精装):CNY15.00 |
| 本书内容包括:微机电系统概论、MEMS的微加工技术、MEMS表现微加工技术、高深度比微加工技术等。 |
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正题名:微机电系统及其相关技术
索取号:TM38/Y156
 
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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562383
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205623832
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自科库301/301自科库 12排2列1层/
[索取号:TM38/Y156]
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在馆
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2
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562384
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205623841
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自科二线404/404自科库 18排5列5层/
[索取号:TM38/Y156]
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在馆
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3
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562385
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205623850
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自科库301/301自科库 12排2列1层/
[索取号:TM38/Y156]
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在馆
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