书目信息 |
| 题名： |
微机电系统及其相关技术
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| 作者： | 杨春生 ， 章吉良 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 上海 上海交通大学出版社 2000.01 |
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| 页数： | 156页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TM38 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 机电系统--基础知识 , 微电机--基础知识 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-313-02307-3 | |
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| 微机电系统及其相关技术/章吉良, 杨春生等编著.-上海：上海交通大学出版社，2000.01 |
| 156页：图；26cm |
| 上海市研究生教育专项经费资助项目.-使用对象：上海研究生教育用书 |
| ISBN 7-313-02307-3(精装)：CNY15.00 |
| 本书内容包括:微机电系统概论、MEMS的微加工技术、MEMS表现微加工技术、高深度比微加工技术等。 |
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| 相关链接 |
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正题名：微机电系统及其相关技术
索取号：TM38/Y156
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 562383 | 205623832 | 自科库301/301自科库 14排3列3层/ [索取号:TM38/Y156] | 在馆 | |
| 2 | 562384 | 205623841 | 自科二线404/404自科库 18排5列5层/ [索取号:TM38/Y156] | 在馆 | |
| 3 | 562385 | 205623850 | 自科库301/301自科库 14排3列3层/ [索取号:TM38/Y156] | 在馆 |