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@ a等离子体放电与材料工艺原理@ Adeng li zi ti fang dian yu cai liao gong yi yuan li@ d= Principles of plasma discharges and materials processing@ f(美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著@ g蒲以康等译@ zeng
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等离子体放电与材料工艺原理= Principles of plasma discharges and materials processing/(美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著/蒲以康等译.-北京：电子工业出版社，2018.01 XXVIII, 536页：图；26cm.-(经典译丛.微电子学) ISBN 978-7-121-28022-1：CNY128.00 全书共18章, 内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体, 以及气体放电的动理论等。 ●
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