书目信息 |
| 题名： |
等离子体放电与材料工艺原理
|
|
| 作者： | 力伯曼 ， 里登伯格 著 ；蒲以康 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 电子工业出版社 2018.01 |
|
| 页数： | XXVIII, 536页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | 经典译丛 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | O53 ， O461 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 等离子体--deng li zi ti--放电 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-121-28022-1 | |
| 000 | 01456nam 2200325 450 | |
| 001 | CAL 0120182381747 | |
| 010 | @a978-7-121-28022-1@dCNY128.00 | |
| 100 | @a20180901d2018 em y0chiy50 ea | |
| 101 | 1 | @achi@ceng |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @aak a 000yy | |
| 200 | 1 | @a等离子体放电与材料工艺原理@Adeng li zi ti fang dian yu cai liao gong yi yuan li@d= Principles of plasma discharges and materials processing@f(美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著@g蒲以康等译@zeng |
| 210 | @a北京@c电子工业出版社@d2018.01 | |
| 215 | @aXXVIII, 536页@c图@d26cm | |
| 225 | 2 | @a经典译丛@Ajing dian yi cong@i微电子学 |
| 305 | @a据原书第2版译出 | |
| 306 | @a由John Wiley & Sons公司授权出版 | |
| 314 | @aLieberman规范汉译姓: 力伯曼 Lichtenberg规范汉译姓: 里登伯格 | |
| 320 | @a有书目 (第520-531页) | |
| 330 | @a全书共18章, 内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体, 以及气体放电的动理论等。 | |
| 410 | 0 | @12001 @a经典译丛@i微电子学 |
| 500 | 10 | @aPrinciples of plasma discharges and materials processing@mChinese |
| 606 | 0 | @a等离子体@Adeng li zi ti@x放电 |
| 690 | @aO53@v5 | |
| 690 | @aO461@v5 | |
| 701 | 1 | @a力伯曼@Ali bo man@g(Lieberman, Michael A.)@4著 |
| 701 | 1 | @a里登伯格@Ali deng bo ge@g(Lichtenberg, Allan J.)@4著 |
| 702 | 0 | @a蒲以康@Apu yi kang@4译 |
| 801 | 0 | @aCN@c20180901 |
| 905 | @a河南城建学院图书馆@dO53@eL356@f1 | |
| 等离子体放电与材料工艺原理= Principles of plasma discharges and materials processing/(美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著/蒲以康等译.-北京：电子工业出版社，2018.01 |
| XXVIII, 536页：图；26cm.-(经典译丛.微电子学) |
| ISBN 978-7-121-28022-1：CNY128.00 |
| 全书共18章, 内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体, 以及气体放电的动理论等。 |
| ● |
| 相关链接 |
|
|
|
正题名：等离子体放电与材料工艺原理
索取号：O53/L356
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1375972 | 213759725 | 自科库401/401自科库 59排4列3层/ [索取号:O53/L356] | 在馆 |