书目信息 |
题名: |
基于MEMS技术的热梯度器件研究
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作者: | 聂金泉 著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 中国水利水电出版社 2019.04 |
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页数: | 192页 | |
开本: | 24cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TM38 | |
科图分类: | ||
主题词: | 微电机--wei dian ji--工艺过程设计 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-5170-7299-7 |
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330 | @a本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统, 设计了一种新型的梯度加热器, 由六个微加热芯片组成, 每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸 (宽度和厚度) 对温度梯度和功耗的影响, 为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。 | |
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基于MEMS技术的热梯度器件研究/聂金泉著.-北京:中国水利水电出版社,2019.04 |
192页:图;24cm |
ISBN 978-7-5170-7299-7:CNY59.00 |
本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统, 设计了一种新型的梯度加热器, 由六个微加热芯片组成, 每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸 (宽度和厚度) 对温度梯度和功耗的影响, 为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。 |
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正题名:基于MEMS技术的热梯度器件研究
索取号:TM38/N565
 
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