书目信息 |
题名: |
薄膜技术与薄膜材料
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作者: | 石玉龙 , 闫凤英 编著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 化学工业出版社 2015.03 |
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页数: | 242页 | |
开本: | 21cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TB43 | |
科图分类: | ||
主题词: | 薄膜技术 , 薄膜--工程材料 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-122-22618-1 |
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薄膜技术与薄膜材料/石玉龙,闫凤英编著.-北京:化学工业出版社,2015.03 |
242页:图;21cm |
使用对象:本书可作为薄膜材料研究专业科技人员的参考书,也可作为高等院校材料类及相关专业的本科生、研究生教学用 |
ISBN 978-7-122-22618-1:CNY30.00 |
本书共4章,分别阐述了材料表面防护装饰膜层的物理气相沉积技术(包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀镀膜),化学气相沉积技术(包括简单的CVD相关理论、设备装置、CVD种类等),硬膜及超硬膜的制备技术(金刚石膜、类金刚石膜、立方氮化硼膜、CNx膜及氮化物、碳化物、氧化物薄膜及复合薄膜等),以及利用化学、电化学反应在材料表面制备膜层的技术(包括化学镀、化学氧化、钝化、磷化,电镀、阳极氧化、微弧氧化等内容)。 |
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正题名:薄膜技术与薄膜材料
索取号:TB43/S547
 
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