书目信息 |
| 题名： |
微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
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| 作者： | 顾长志 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2013 |
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| 页数： | 11,353页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 纳米科学与技术 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TB383 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 纳米材料--新技术应用 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-037825-5 | |
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| 微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/顾长志等编著.-北京：科学出版社，2013 |
| 11,353页：图；24cm.-(纳米科学与技术) |
| 国家出版基金项目 |
| ISBN 978-7-03-037825-5(精装)：CNY118.00 |
| 本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印，刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。 |
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正题名：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
索取号：TB383/G529
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