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000
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01332nam0 2200313 45
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001
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012006319391
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005
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20060405105240.89
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010
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@a7-5025-4692-8@dCNY38.00
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100
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@a20060405d2003 km y0chiy0120 ea
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101
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0
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@achi
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102
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@aCN@b110000
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105
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@aak a 000yy
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200
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1
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@a微系统技术@AWei Xi Tong Ji Shu@f(德) W.Menz, J.Mohr, O.Paul@F(de)W.Menz,J.Mohr,O.Paul@g王春海, 于杰等译@Gwang chun hai,yu jie deng yi
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210
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@a北京@c化学工业出版社@c材料科学与工程出版中心@d2003.09
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215
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@a468页@c图@d20cm
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306
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@a本书中文简体翻译版由WILEY出版公司授权出版
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314
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@a责任者Menz规范汉译姓为门茨 责任者Mohr规范汉译姓为默尔 责任者Paul规范汉译姓为保罗
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320
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@a有书目 (第446-467页)。
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330
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@a本书介绍了微系统技术的基础知识,详细介绍了光刻技术、硅技术、LIGA技术、微结构加工技术、封装技术、系统技术等。
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333
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@a本书可作为高校相关专业学生的选修课教材和课外读物,也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。
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606
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0
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@a微电子技术@Awei dian zi ji shu
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690
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@aTN4@v4
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701
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1
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@a门茨,@Amen ci,@bW.@g(Menz, Wolfgang)@4著
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701
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1
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@a默尔,@Amo er,@bJ.@g(Mohr, Jurgen)@4著
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701
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1
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@a保罗,@Abao luo,@bO.@g(Paul, Oliver)@4著
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702
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0
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@a王春海@Awang chun hai@4译
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702
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0
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@a于杰@Ayu jie@4译
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801
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0
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@aCN@bQSSK@c20060405
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905
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@a10447@dTN4@eM551
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| 微系统技术/(德) W.Menz, J.Mohr, O.Paul/王春海, 于杰等译.-北京:化学工业出版社:材料科学与工程出版中心,2003.09 |
| 468页:图;20cm |
| 使用对象:本书可作为高校相关专业学生的选修课教材和课外读物,也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。 |
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| ISBN 7-5025-4692-8:CNY38.00 |
| 本书介绍了微系统技术的基础知识,详细介绍了光刻技术、硅技术、LIGA技术、微结构加工技术、封装技术、系统技术等。 |
| ● |
正题名:微系统技术
索取号:TN4/M551
 
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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557335
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205573351
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自科库301/301自科库 26排3列1层/
[索取号:TN4/M551]
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在馆
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2
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557336
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205573360
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自科库301/301自科库 26排3列1层/
[索取号:TN4/M551]
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在馆
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3
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557337
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205573379
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自科库301/404自科库 13排1列2层/
[索取号:TN4/M551]
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在馆
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