书目信息 |
| 题名： |
微系统技术
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| 作者： | 门茨, ， 默尔, ， 保罗, 著 ；王春海 ， 于杰 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2003.09 |
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| 页数： | 468页 | |
| 开本： | 20cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电子技术--wei dian zi ji shu | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-5025-4692-8 | |
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| 306 | @a本书中文简体翻译版由WILEY出版公司授权出版 | |
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| 330 | @a本书介绍了微系统技术的基础知识，详细介绍了光刻技术、硅技术、LIGA技术、微结构加工技术、封装技术、系统技术等。 | |
| 333 | @a本书可作为高校相关专业学生的选修课教材和课外读物，也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。 | |
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| 微系统技术/(德) W.Menz, J.Mohr, O.Paul/王春海, 于杰等译.-北京：化学工业出版社：材料科学与工程出版中心，2003.09 |
| 468页：图；20cm |
| 使用对象：本书可作为高校相关专业学生的选修课教材和课外读物，也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。 |
| ISBN 7-5025-4692-8：CNY38.00 |
| 本书介绍了微系统技术的基础知识，详细介绍了光刻技术、硅技术、LIGA技术、微结构加工技术、封装技术、系统技术等。 |
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| 相关链接 |
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正题名：微系统技术
索取号：TN4/M551
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 557335 | 205573351 | 自科库301/301自科库 34排4列4层/ [索取号:TN4/M551] | 在馆 | |
| 2 | 557336 | 205573360 | 自科库301/301自科库 34排4列4层/ [索取号:TN4/M551] | 在馆 | |
| 3 | 557337 | 205573379 | 自科库301/404自科库 13排1列2层/ [索取号:TN4/M551] | 在馆 |