书目信息 |
题名: |
集成电路 (IC) 制程简论
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作者: | 田民波 编著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 清华大学出版社 2009 |
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页数: | 244页 | |
开本: | 23cm | |
丛书名: | 新材料及在高技术中的应用丛书 | |
单 册: | ||
中图分类: | TN4 | |
科图分类: | ||
主题词: | 集成电路--ji cheng dian lu | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-302-20959-1 |
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330 | @a本书介绍了集成电路制程,以特征线宽130nm以下为重点,涉及集成电路制作工艺的各个方面,特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。 | |
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集成电路 (IC) 制程简论/田民波编著.-北京:清华大学出版社,2009 |
244页:图;23cm.-(新材料及在高技术中的应用丛书) |
ISBN 978-7-302-20959-1:CNY33.00 |
本书介绍了集成电路制程,以特征线宽130nm以下为重点,涉及集成电路制作工艺的各个方面,特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。 |
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相关链接 |
正题名:集成电路 (IC) 制程简论
索取号:TN4/T630
 
预约/预借
序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
1 | 1006207 | 210062073 | 自科库301/301自科库 19排4列2层/ [索取号:TN4/T630] | 在馆 | |
2 | 1006208 | 210062082 | 自科库301/404自科库 18排4列4层/ [索取号:TN4/T630] | 在馆 | |
3 | 1006209 | 210062091 | 自科库301/301自科库 19排4列2层/ [索取号:TN4/T630] | 在馆 |