书目信息 |
| 题名： |
集成电路 (IC) 制程简论
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| 作者： | 田民波 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 清华大学出版社 2009 |
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| 页数： | 244页 | |
| 开本： | 23cm | |
| 丛书名： | 新材料及在高技术中的应用丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 集成电路--ji cheng dian lu | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-302-20959-1 | |
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| 312 | @a英文题名取自封面 | |
| 320 | @a有书目 (第243-244页) | |
| 330 | @a本书介绍了集成电路制程，以特征线宽130nm以下为重点，涉及集成电路制作工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。 | |
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| 集成电路 (IC) 制程简论/田民波编著.-北京：清华大学出版社，2009 |
| 244页：图；23cm.-(新材料及在高技术中的应用丛书) |
| ISBN 978-7-302-20959-1：CNY33.00 |
| 本书介绍了集成电路制程，以特征线宽130nm以下为重点，涉及集成电路制作工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。 |
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| 相关链接 |
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正题名：集成电路 (IC) 制程简论
索取号：TN4/T630
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1006207 | 210062073 | 自科库301/301自科库 26排3列1层/ [索取号:TN4/T630] | 在馆 | |
| 2 | 1006208 | 210062082 | 自科库301/404自科库 18排4列4层/ [索取号:TN4/T630] | 在馆 | |
| 3 | 1006209 | 210062091 | 自科库301/301自科库 26排3列1层/ [索取号:TN4/T630] | 在馆 |