书目信息 |
| 题名： |
微机电系统设计与加工
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| 作者： | 贾德勒哈克 著 ；赵小林 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 机械工业出版社 2010.02 |
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| 页数： | 536页 | |
| 开本： | 27cm | |
| 丛书名： | 国际机械工程先进技术译丛 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 集成电路 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-111-28597-7 | |
| 000 | 01054 nam 000277 | |
| 001 | 0100051293 | |
| 010 | @a978-7-111-28597-7@dCNY63.00 | |
| 100 | @a20110126d2010 em y0chiy0121 ea | |
| 101 | 0 | @achi |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @ay z 000yy | |
| 106 | @ar | |
| 200 | 1 | @a微机电系统设计与加工@Awei ji dian xi tong she ji yu jia gong@f(美)贾德勒哈克著@F( mei ) jia de le ha ke zhu@g赵小林@Gzhao xiao lin |
| 210 | @a北京@c机械工业出版社@d2010.02 | |
| 215 | @a536页@d27cm | |
| 225 | @a国际机械工程先进技术译丛 | |
| 330 | @a本书内容包括：MEMS中的材料、MEMS制造、LIGA及其微模压、基于X射线的加工、EFAB技术及其应用、用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀、聚合物微系统：材料和加工、光诊断方法考察微流道的入口长度、应用于航空航天的微化学传感器等。 | |
| 410 | 0 | @12001 @a国际机械工程先进技术译丛 |
| 540 | @a微机电系统设计与加工 | |
| 606 | 0 | @a集成电路 |
| 690 | @aTN4@v4 | |
| 701 | 0 | @a贾德勒哈克@Ajia de le ha ke@4著 |
| 702 | @a赵小林@Azhao xiao lin | |
| 801 | 0 | @aCN@bDYGS@c20101115 |
| 901 | @a211986 | |
| 905 | @b1076354@dTN4@eJ237@f1 | |
| 微机电系统设计与加工/(美)贾德勒哈克著/赵小林.-北京：机械工业出版社，2010.02 |
| 536页；27cm.-(国际机械工程先进技术译丛) |
| ISBN 978-7-111-28597-7：CNY63.00 |
| 本书内容包括：MEMS中的材料、MEMS制造、LIGA及其微模压、基于X射线的加工、EFAB技术及其应用、用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀、聚合物微系统：材料和加工、光诊断方法考察微流道的入口长度、应用于航空航天的微化学传感器等。 |
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正题名：微机电系统设计与加工
索取号：TN4/J237
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