书目信息 |
| 题名： |
集成电路与等离子体装备
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| 作者： | 赵晋荣 主编 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2024 |
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| 页数： | 282页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 ， TN305.7 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 集成电路 , 等离子刻蚀--设备 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-077546-7 | |
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| 集成电路与等离子体装备=Integrated circuit and plasma based apparatus/赵晋荣等编著.-北京：科学出版社，2024 |
| 282页：图,彩照；24cm |
| ISBN 978-7-03-077546-7(精装)：CNY168.00 |
| 本书介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容,具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战,气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度等离子体化学气相沉积工艺与设备、炉管设备与工艺等。 |
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正题名：集成电路与等离子体装备
索取号：TN4/Z305
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