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书目信息

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题名:
聚焦离子束微纳加工技术
    
 
作者: 顾文琪 , 马向国,李文萍 著
分册:  
出版信息: 北京   北京工业大学出版社  2006.01
页数: 344页
开本: 24cm
丛书名: 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
单 册:
中图分类: TL632
科图分类:
主题词: 受控聚变装置
电子资源:
ISBN: 7-5639-1690-3
 
 
 
 
 
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    聚焦离子束微纳加工技术/顾文琪,马向国,李文萍著.-北京:北京工业大学出版社,2006.01
    344页;24cm.-(电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著)
    国家科学技术学术著作出版基金资助
    
    ISBN 7-5639-1690-3:CNY55.00
    本书重点讲述聚焦离子束技术的原理;聚焦离子束系统的结构,包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等;还探讨了聚焦离子束的有关关键技术
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正题名:聚焦离子束微纳加工技术     索取号:TL632/G515         预约/预借

序号 登录号 条形码 馆藏地/架位号 状态 备注
1 1090286   210902861   期刊室512/501自科库 136排9列1层/ [索取号:TL632/G515] 在馆    
2 1090287   210902870   自科库501/501自科库 136排9列1层/ [索取号:TL632/G515] 在馆    
3 1090288   210902889   自科库501/501自科库 136排9列1层/ [索取号:TL632/G515] 在馆    
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