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@a344页@d24cm
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@a电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
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@a国家科学技术学术著作出版基金资助
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@a本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术
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@a聚焦离子束微纳加工技术
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| 聚焦离子束微纳加工技术/顾文琪，马向国，李文萍著.-北京：北京工业大学出版社，2006.01 |
| 344页；24cm.-(电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著) |
| 国家科学技术学术著作出版基金资助 |
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| ISBN 7-5639-1690-3：CNY55.00 |
| 本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术 |
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正题名：聚焦离子束微纳加工技术
索取号：TL632/G515
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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1090286
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210902861
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期刊室512/501自科库 136排9列1层/
[索取号:TL632/G515]
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在馆
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2
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1090287
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210902870
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自科库501/501自科库 136排9列1层/
[索取号:TL632/G515]
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在馆
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3
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1090288
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210902889
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自科库501/501自科库 136排9列1层/
[索取号:TL632/G515]
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在馆
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