书目信息 |
题名: |
聚焦离子束微纳加工技术
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作者: | 顾文琪 , 马向国,李文萍 著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 北京工业大学出版社 2006.01 |
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页数: | 344页 | |
开本: | 24cm | |
丛书名: | 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 | |
单 册: | ||
中图分类: | TL632 | |
科图分类: | ||
主题词: | 受控聚变装置 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 7-5639-1690-3 |
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聚焦离子束微纳加工技术/顾文琪,马向国,李文萍著.-北京:北京工业大学出版社,2006.01 |
344页;24cm.-(电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著) |
国家科学技术学术著作出版基金资助 |
ISBN 7-5639-1690-3:CNY55.00 |
本书重点讲述聚焦离子束技术的原理;聚焦离子束系统的结构,包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等;还探讨了聚焦离子束的有关关键技术 |
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正题名:聚焦离子束微纳加工技术
索取号:TL632/G515
 
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