书目信息 |
| 题名： |
晶圆制造中的并行机调度
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| 作者： | 张朋 ， 张洁 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 清华大学出版社 2019.12 |
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| 页数： | X, 241页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 排序与调度丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN305 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体工艺--ban dao ti gong yi--自动化系统--物料输送系统--并行控制--研究 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-302-53663-5 | |
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| 314 | @a张洁, 女, 东华大学机械工程学院院长、教授、博士生导师。中国科协智能制造学会联合体专家委员会委员、中国人工智能学会智能制造专业委员会副主任等。张朋, 男, 东华大学机械工程学院智能制造研究所讲师。2011年于华中科技大学获学土学位, 2019年于上海交通大学获得博士学位。 | |
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| 330 | @a本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。 | |
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| 晶圆制造中的并行机调度/张洁, 张朋著.-北京：清华大学出版社，2019.12 |
| X, 241页：图；24cm.-(排序与调度丛书) |
| “十三五”国家重点出版规划项目 |
| ISBN 978-7-302-53663-5：CNY79.00 |
| 本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。 |
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正题名：晶圆制造中的并行机调度
索取号：TN305/Z121-2
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1458219 | 214582192 | 自科库301/301自科库 34排2列5层/ [索取号:TN305/Z121-2] | 在馆 | |
| 2 | 1458220 | 214582209 | 自科库301/301自科库 34排2列5层/ [索取号:TN305/Z121-2] | 在馆 |