|
000
|
01371nam 2200289 450
|
|
001
|
CAL 0120192928328
|
|
010
|
|
@a978-7-302-53663-5@dCNY79.00
|
|
100
|
|
@a20190916d2019 em y0chiy50 ea
|
|
101
|
0
|
@achi
|
|
102
|
|
@aCN@b110000
|
|
105
|
|
@aa a 000yy
|
|
200
|
1
|
@a晶圆制造中的并行机调度@Ajing yuan zhi zao zhong de bing xing ji diao du@f张洁, 张朋著
|
|
210
|
|
@a北京@c清华大学出版社@d2019.12
|
|
215
|
|
@aX, 241页@c图@d24cm
|
|
225
|
2
|
@a排序与调度丛书@Apai xu yu diao du cong shu
|
|
300
|
|
@a“十三五”国家重点出版规划项目
|
|
314
|
|
@a张洁, 女, 东华大学机械工程学院院长、教授、博士生导师。中国科协智能制造学会联合体专家委员会委员、中国人工智能学会智能制造专业委员会副主任等。张朋, 男, 东华大学机械工程学院智能制造研究所讲师。2011年于华中科技大学获学土学位, 2019年于上海交通大学获得博士学位。
|
|
320
|
|
@a有书目 (第227-233页)
|
|
330
|
|
@a本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。
|
|
410
|
0
|
@12001 @a排序与调度丛书
|
|
606
|
0
|
@a半导体工艺@Aban dao ti gong yi@x自动化系统@x物料输送系统@x并行控制@x研究
|
|
690
|
|
@aTN305@v5
|
|
701
|
0
|
@a张朋@Azhang peng@4著
|
|
701
|
0
|
@a张洁@Azhang jie@4著
|
|
801
|
0
|
@aCN@c20200916
|
|
902
|
|
@aRt911-1310
|
|
905
|
|
@a河南城建学院图书馆@dTN305@eZ121-2
|
|
|
|
|
| |
| 晶圆制造中的并行机调度/张洁, 张朋著.-北京：清华大学出版社，2019.12 |
| X, 241页：图；24cm.-(排序与调度丛书) |
| “十三五”国家重点出版规划项目 |
| |
| ISBN 978-7-302-53663-5：CNY79.00 |
| 本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。 |
| ● |
正题名：晶圆制造中的并行机调度
索取号：TN305/Z121-2
预约/预借
| 序号
|
登录号
|
条形码
|
馆藏地/架位号
|
状态
|
备注
|
|
1
|
1458219
|
214582192
|
自科库301/301自科库 26排1列2层/
[索取号:TN305/Z121-2]
|
在馆
|
|
|
2
|
1458220
|
214582209
|
自科库301/301自科库 26排1列2层/
[索取号:TN305/Z121-2]
|
在馆
|
|
