书目信息 |
| 题名： |
金刚石膜粒子探测器材料
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| 作者： | 夏义本, 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2022.01 |
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| 页数： | 299页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 先进功能材料丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | O572.21 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 粒子探测器--li zi tan ce qi--金刚石涂层--膜材料--研究 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-070427-6 | |
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| 312 | @a英文题名取自封面 | |
| 314 | @a夏义本, 1942年出生于上海, 1965年毕业二复旦大学物理系半导体物理专业, 1981年获中国科学院长理学硕士。 | |
| 320 | @a有书目 | |
| 330 | @a本书系统介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响 ; 制备工艺技术包括不同材质的衬底处理, 详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助化学气相沉积法制备金刚石膜的工艺及各种检测分析技术 ; 从半导体器件物理原理出发阐述了金刚石膜粒子探测器的性能及与材料间内在联系。 | |
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| 金刚石膜粒子探测器材料/夏义本著.-北京：科学出版社，2022.01 |
| 299页：图；24cm.-(先进功能材料丛书) |
| ISBN 978-7-03-070427-6：CNY150.00 |
| 本书系统介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响 ; 制备工艺技术包括不同材质的衬底处理, 详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助化学气相沉积法制备金刚石膜的工艺及各种检测分析技术 ; 从半导体器件物理原理出发阐述了金刚石膜粒子探测器的性能及与材料间内在联系。 |
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正题名：金刚石膜粒子探测器材料
索取号：O572.21/X222
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