|
000
|
01036nam0 2200253 450
|
|
001
|
005889016
|
|
010
|
|
@a978-7-03-034316-1@dCNY80.00
|
|
100
|
|
@a20120301d2012 em y0chiy50 ea
|
|
101
|
0
|
@achi
|
|
102
|
|
@aCN@b110000
|
|
105
|
|
@aa z 000yy
|
|
200
|
1
|
@a动态微机电系统@Adong tai wei ji dian xi tong@e理论与应用@f何广平[等]编著
|
|
210
|
|
@a北京@c科学出版社@d2012.06
|
|
215
|
|
@a384页@c图@d24cm
|
|
304
|
|
@a编著还有：赵明、赵全亮、刘峰斌
|
|
330
|
|
@a本书以动态微机电系统(MEMS)主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。
|
|
606
|
0
|
@a动态@x微电子技术
|
|
606
|
0
|
@a动态
|
|
606
|
0
|
@a半导体技术
|
|
690
|
|
@aTN4@v5
|
|
690
|
|
@aTN38@v5
|
|
701
|
0
|
@a何广平@Ahe guang ping@c(物理学)@4编著
|
|
801
|
0
|
@aCN@c20121226
|
|
905
|
|
@dTN38@eH174@f1
|
|
|
|
|
| |
| 动态微机电系统：理论与应用/何广平[等]编著.-北京：科学出版社，2012.06 |
| 384页：图；24cm |
| |
| |
| ISBN 978-7-03-034316-1：CNY80.00 |
| 本书以动态微机电系统(MEMS)主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。 |
| ● |
正题名：动态微机电系统
索取号：TN38/H174
预约/预借
| 序号
|
登录号
|
条形码
|
馆藏地/架位号
|
状态
|
备注
|
|
1
|
1211220
|
212112202
|
自科库301/301自科库 26排1列5层/
[索取号:TN38/H174]
|
在馆
|
|
