书目信息 |
| 题名： |
动态微机电系统
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| 作者： | 何广平 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2012.06 |
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| 页数： | 384页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 ， TN38 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 动态--微电子技术 , 动态 , 半导体技术 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-034316-1 | |
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| 200 | 1 | @a动态微机电系统@Adong tai wei ji dian xi tong@e理论与应用@f何广平[等]编著 |
| 210 | @a北京@c科学出版社@d2012.06 | |
| 215 | @a384页@c图@d24cm | |
| 304 | @a编著还有：赵明、赵全亮、刘峰斌 | |
| 330 | @a本书以动态微机电系统(MEMS)主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。 | |
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| 动态微机电系统：理论与应用/何广平[等]编著.-北京：科学出版社，2012.06 |
| 384页：图；24cm |
| ISBN 978-7-03-034316-1：CNY80.00 |
| 本书以动态微机电系统(MEMS)主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。 |
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| 相关链接 |
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正题名：动态微机电系统
索取号：TN38/H174
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