书目信息

书名: MEMS光纤声压传感器技术 
作者: 金鹏
出版信息: 北京   科学出版社  2022.03
开本页数: 24cm  170页
丛书名:
单 册:
中图分类: TP212.4
科图分类:
主题词: 光纤压力传感器--guang xian ya li chuan gan qi
电子资源:
ISBN: 978-7-03-069327-3
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    MEMS光纤声压传感器技术/金鹏 ... [等] 著.-北京:科学出版社,2022.03
    170页:图;24cm
    
    
    ISBN 978-7-03-069327-3:CNY99.00
    本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景 ; 其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理, 分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析 ; 然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装 ; 最后对传感器的性能进行详细的测试。
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正题名:MEMS光纤声压传感器技术     索取号:TP212.4/J792         预约/预借

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