书目信息 |
| 题名： |
MEMS光纤声压传感器技术
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| 作者： | 金鹏 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2022.03 |
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| 页数： | 170页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TP212.4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 光纤压力传感器--guang xian ya li chuan gan qi | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-069327-3 | |
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| 200 | 1 | @aMEMS光纤声压传感器技术@AMEMS guang xian sheng ya chuan gan qi ji shu@f金鹏 ... [等] 著 |
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| 215 | @a170页@c图@d24cm | |
| 304 | @a题名页题其余责任者: 刘彬, 钟志, 林杰, 方尔正 | |
| 306 | @a国家科学技术学术著作出版基金资助出版 | |
| 312 | @a英文题名取自封面 | |
| 320 | @a有书目 (第157-167页) 和索引 | |
| 330 | @a本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景 ; 其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理, 分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析 ; 然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装 ; 最后对传感器的性能进行详细的测试。 | |
| 510 | 1 | @aFiber acoutics sensors based on MEMS@zeng |
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| MEMS光纤声压传感器技术/金鹏 ... [等] 著.-北京：科学出版社，2022.03 |
| 170页：图；24cm |
| ISBN 978-7-03-069327-3：CNY99.00 |
| 本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景 ; 其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理, 分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析 ; 然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装 ; 最后对传感器的性能进行详细的测试。 |
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正题名：MEMS光纤声压传感器技术
索取号：TP212.4/J792
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