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@a微加工技术工艺原理与实验@Awei jia gong ji shu gong yi yuan li yu shi yan@f陈军 ... [等] 编著
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@a北京@c清华大学出版社@d2024.06
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@a247页@c图@d26cm
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@a面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材@Amian xiang xin gong ke de dian gong dian zi xin xi ji chu ke cheng xi lie jiao cai
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@a教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材
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304
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@a题名页题: 陈军, 黄展云, 张宇, 卢星, 王冰, 陈晖编著
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@a有书目
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@a本书共分六篇十二章, 系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合, 涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验、器件制造工艺实验和器件特性测量实验。
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@12001 @a面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材
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@a
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606
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@a特种加工@Ate zhong jia gong@x高等学校@j教材
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@aTG66@v5
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701
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@a陈军@Achen jun@4编著
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@a黄展云@Ahuang zhan yun@4编著
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@a张宇@Azhang yu@4编著
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@aCN@c20240528
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@dTG66@eC475@f1@sTG66/C475@S@Z
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| 微加工技术工艺原理与实验/陈军 ... [等] 编著.-北京：清华大学出版社，2024.06 |
| 247页：图；26cm.-(面向新工科的电工电子信息基础课程系列教材) |
| 教育部高等学校电工电子基础课程教学指导分委员会推荐教材 |
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| ISBN 978-7-302-66121-4：CNY69.00 |
| 本书共分六篇十二章, 系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合, 涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验、器件制造工艺实验和器件特性测量实验。 |
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正题名：微加工技术工艺原理与实验
索取号：TG66/C475
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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21615963
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216159635
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自科库501/501自科库 29排1列4层/
[索取号:TG66/C475]
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在馆
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