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@a用于恶劣环境的碳化硅微机电系统@Ayong yu e lie huan jing de tan hua gui wei ji dian xi tong@fRebecca Cheung著@g王晓浩 ，唐飞，王文弢译
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@a北京@c科学出版社@d2010.03
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@a121页@c图@d24cm
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@a微纳技术著作丛书
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@a本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。
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@12001 @a微纳技术著作丛书
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@dTN4@e王晓浩@f2
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| 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统/Rebecca Cheung著/王晓浩 ，唐飞，王文弢译.-北京：科学出版社，2010.03 |
| 121页：图；24cm.-(微纳技术著作丛书) |
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| ISBN 978-7-03-026862-4：CNY35.00 |
| 本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。 |
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正题名：用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
索取号：TN4/王晓浩
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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1207491
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212074912
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自科二线504/504自科库 14排1列5层/
[索取号:TN4/王晓浩]
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在馆
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2
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1207492
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212074921
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自科二线504/504自科库 14排1列5层/
[索取号:TN4/王晓浩]
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在馆
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