书目信息 |
| 题名： |
用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
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| 作者： | 张 著 ；王晓浩 ， 唐飞 ， 王文弢 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2010.03 |
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| 页数： | 121页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 微纳技术著作丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN304 ， TN4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体材料--微电子技术--研究 , 微电子技术 , 集成电路 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-026862-4 | |
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| 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统/Rebecca Cheung著/王晓浩 ，唐飞，王文弢译.-北京：科学出版社，2010.03 |
| 121页：图；24cm.-(微纳技术著作丛书) |
| ISBN 978-7-03-026862-4：CNY35.00 |
| 本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。 |
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正题名：用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
索取号：TN4/王晓浩
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1207491 | 212074912 | 自科二线504/504自科库 14排1列5层/ [索取号:TN4/王晓浩] | 在馆 | |
| 2 | 1207492 | 212074921 | 自科二线504/504自科库 14排1列5层/ [索取号:TN4/王晓浩] | 在馆 |