书目信息 |
| 题名: |
氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
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| 作者: | 赵祥敏, , 赵文海 著 | |
| 分册: | ||
| 出版信息: | 北京 冶金工业出版社 2015.06 |
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| 页数: | x, 132页 | |
| 开本: | 21cm | |
| 丛书名: | ||
| 单 册: | ||
| 中图分类: | TB43 | |
| 科图分类: | ||
| 主题词: | 氧化锌--yang hua xin--薄膜技术 , 氮化铝--dan hua lv--薄膜技术 | |
| 电子资源: | ||
| ISBN: | 978-7-5024-6917-7 | |
| 000 | 01249nam0 2200265 450 | |
| 001 | 012018000765 | |
| 010 | @a978-7-5024-6917-7@dCNY25.00 | |
| 100 | @a20150708d2015 em y0chiy50 ea | |
| 101 | 0 | @achi |
| 102 | @aCN@b110000 | |
| 105 | @aak a 000yy | |
| 106 | @ar | |
| 200 | 1 | @a氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例@Ayang hua xin he dan hua lv bao mo zhi bei yu biao zheng shi li@f赵祥敏, 赵文海著@Fzhao xiang min, zhao wen hai zhu |
| 210 | @a北京@c冶金工业出版社@d2015.06 | |
| 215 | @ax, 132页@c图@d21cm | |
| 314 | @a赵祥敏, 女, 1979年2月出生, 就职于牡丹师范学院工学院。 | |
| 320 | @a有书目 | |
| 330 | @a本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段, ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征, 不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响, 退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。 | |
| 606 | 0 | @a氧化锌@Ayang hua xin@x薄膜技术 |
| 606 | 0 | @a氮化铝@Adan hua lv@x薄膜技术 |
| 690 | @aTB43@v5 | |
| 701 | 0 | @a赵祥敏,@Azhao xiang min@f1979-@4著 |
| 701 | 0 | @a赵文海@Azhao wen hai@4著 |
| 801 | 0 | @aCN@c20180813 |
| 905 | @a河南城建学院图书馆@b21356008-09@dTB43@eZ334@f2 | |
| 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例/赵祥敏, 赵文海著.-北京:冶金工业出版社,2015.06 |
| x, 132页:图;21cm |
| ISBN 978-7-5024-6917-7:CNY25.00 |
| 本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段, ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征, 不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响, 退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。 |
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正题名:氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
索取号:TB43/Z334
 
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| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1356008 | 213560083 | 自科库501/501自科库 15排2列2层/ [索取号:TB43/Z334] | 在馆 | |
| 2 | 1356009 | 213560092 | 自科库501/501自科库 15排2列2层/ [索取号:TB43/Z334] | 在馆 |