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题名:
氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
    
 
作者: 赵祥敏, , 赵文海 著
分册:  
出版信息: 北京   冶金工业出版社  2015.06
页数: x, 132页
开本: 21cm
丛书名:
单 册:
中图分类: TB43
科图分类:
主题词: 氧化锌--yang hua xin--薄膜技术 , 氮化铝--dan hua lv--薄膜技术
电子资源:
ISBN: 978-7-5024-6917-7
 
 
 
 
 
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330    @a本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段, ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征, 不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响, 退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。
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    氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例/赵祥敏, 赵文海著.-北京:冶金工业出版社,2015.06
    x, 132页:图;21cm
    
    
    ISBN 978-7-5024-6917-7:CNY25.00
    本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段, ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征, 不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响, 退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。
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正题名:氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例     索取号:TB43/Z334         预约/预借

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1 1356008   213560083   自科库501/501自科库 15排2列2层/ [索取号:TB43/Z334] 在馆    
2 1356009   213560092   自科库501/501自科库 15排2列2层/ [索取号:TB43/Z334] 在馆    
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