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书名：
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微机电系统基础
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作者：
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刘昶
著
；黄庆安
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出版信息：
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北京
机械工业出版社
2007.10
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开本页数：
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26cm
365页
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丛书名：
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电子与电气工程丛书
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单 册：
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中图分类：
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TN4
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科图分类：
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主题词：
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集成电路
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电子资源：
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ISBN：
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978-7-111-22333-7
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| 微机电系统基础/(美)刘昶著/黄庆安.-北京：机械工业出版社，2007.10 |
| 365页；26cm.-(电子与电气工程丛书) |
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| ISBN 978-7-111-22333-7：CNY49.00 |
| 本书包括微制造导论、电学与机械学基本概念、静电敏感与执行原理、压阻传感器、压电敏感与执行原理、磁执行器、敏感与执行原理总结等内容。 |
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正题名：微机电系统基础
索取号：TN4/L592
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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210725401
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自科库301/301自科库 26排2列5层/
[索取号:TN4/L592]
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在馆
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2
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210725410
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自科库301/301自科库 26排2列5层/
[索取号:TN4/L592]
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在馆
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