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MEMS材料与工艺手册/(美)利萨·格迪斯, 林斌彦著= MEMS materials and processes handbook/Reza Ghodssi, Pinyen Lin/黄庆安译.-南京：东南大学出版社，2014.03 11, 14, 966页：图；24cm.-(微纳系统系列译丛) ←并列题名：= MEMS materials and processes handbook ISBN 978-7-5641-4053-3：CNY198.00 本书主要内容包括: MEMS中半导体材料、介质材料、金属材料、聚合物材料、压电材料、形状记忆合金材料以及封装材料等制备方法及其特性等。 ●
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1
1110603
211106033
自科库301/301自科库 26排3列3层/
[索取号:TN4-62/L367]
在馆
