书目信息 |
| 题名： |
微纳米加工技术及其应用
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| 作者： | 崔铮 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 高等教育出版社 2013 |
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| 页数： | 544页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TB383 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 纳米材料--新技术应用 , 纳米材料 , 新技术应用 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-04-036974-8 | |
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| 微纳米加工技术及其应用=Micro-nanofabrication technologies and applications/崔铮著.-3版.-北京：高等教育出版社，2013 |
| 544页：图；24cm |
| ISBN 978-7-04-036974-8(精装)：CNY 79.00 |
| 本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚集离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。 |
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正题名：微纳米加工技术及其应用
索取号：TB383/C978=3
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| 1 | 0836082 | 208360824 | 自科库501/501自科库 14排1列1层/ [索取号:TB383/C978=3] | 在馆 | |
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