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@achi
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200
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@a真空镀膜@Azhen kong du mo@f李云奇编著
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@a北京@c化学工业出版社@d2012.02
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@a310页@c图@d26cm
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@a真空科学技术丛书@f达道安主编
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@a全书共11章,内容包涵了真空镀膜中物理基础,各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求,各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控,真空镀膜工艺对环境的要求等。
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@12001 @a真空科学技术丛书
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690
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905
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@dTB43@eL325@f1
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| 真空镀膜/李云奇编著.-北京:化学工业出版社,2012.02 |
| 310页:图;26cm.-(真空科学技术丛书/达道安主编) |
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| ISBN 978-7-122-12780-8:CNY85.00 |
| 全书共11章,内容包涵了真空镀膜中物理基础,各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求,各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控,真空镀膜工艺对环境的要求等。 |
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正题名:真空镀膜
索取号:TB43/L325
 
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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1217125
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212171255
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自科库501/501自科库 15排2列2层/
[索取号:TB43/L325]
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在馆
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