书目信息 |
| 题名： |
微机电系统 (MEMS)
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| 作者： | 乔杜里 ， 印纽斯基 主编 ；程云芳 ， 周华伟 ， 周海宪 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 机械工业出版社 2020.05 |
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| 页数： | XXIII, 383页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TH-39 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微机电系统--wei ji dian xi tong--研究 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-111-64958-8 | |
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| 微机电系统 (MEMS)：元器件、电路及系统集成技术和应用/(美) 维卡斯·乔杜里, (加) 克日什托夫·印纽斯基主编/周海宪, 程云芳, 周华伟等译.-第5版.-北京：机械工业出版社，2020.05 |
| XXIII, 383页：图；26cm.-(微纳机电系统先进技术研究与应用丛书) |
| ISBN 978-7-111-64958-8：CNY139.00 |
| 本书共19章, 分为两大部分: 第1-9章为技术部分, 讨论各类新型微机电系统 (MEMS) 器件 ; 第10-19章属应用部分, 详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。 |
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正题名：微机电系统 (MEMS)
索取号：TH-39/Q315=5
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