书目信息

书名: 微机电系统 (MEMS) 
作者: 乔杜里 印纽斯基 主编 ;程云芳 周华伟 周海宪
出版信息: 北京   机械工业出版社  2020.05
开本页数: 26cm  XXIII, 383页
丛书名: 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
单 册:
中图分类: TH-39
科图分类:
主题词: 微机电系统--wei ji dian xi tong--研究
电子资源:
ISBN: 978-7-111-64958-8
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    微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用/(美) 维卡斯·乔杜里, (加) 克日什托夫·印纽斯基主编/周海宪, 程云芳, 周华伟等译.-第5版.-北京:机械工业出版社,2020.05
    XXIII, 383页:图;26cm.-(微纳机电系统先进技术研究与应用丛书)
    
    
    ISBN 978-7-111-64958-8:CNY139.00
    本书共19章, 分为两大部分: 第1-9章为技术部分, 讨论各类新型微机电系统 (MEMS) 器件 ; 第10-19章属应用部分, 详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。
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正题名:微机电系统 (MEMS)     索取号:TH-39/Q315=5         预约/预借

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