书目信息 |
| 题名： |
微机电器件设计、仿真及工程应用
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| 作者： | 周富强 ， 郭占社 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 北京航空航天大学出版社 2021.03 |
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| 页数： | 222页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电子技术--wei dian zi ji shu--高等学校--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-5124-3456-1 | |
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| 330 | @a本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上, 以微机电系统中常用的核心器件为对象, 结合大量工程实例, 采用Ansys软件, 详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法, 包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等。 | |
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| 微机电器件设计、仿真及工程应用/郭占社, 周富强编著.-北京：北京航空航天大学出版社，2021.03 |
| 222页：图；24cm |
| 使用对象：高等学校通用教材 |
| ISBN 978-7-5124-3456-1：CNY49.00 |
| 本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上, 以微机电系统中常用的核心器件为对象, 结合大量工程实例, 采用Ansys软件, 详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法, 包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等。 |
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正题名：微机电器件设计、仿真及工程应用
索取号：TN4/G870
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