书目信息 |
| 题名： |
微机电系统基础
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| 作者： | 刘昶 著 ；黄庆安 译 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 机械工业出版社 2013.02 |
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| 页数： | XIII, 397页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | 国外电子电气经典教材系列 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TM38 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电机--wei dian ji--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-111-40657-0 | |
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| 305 | @a由Pearson Education (培生教育出版集团) 授权 | |
| 305 | @a据原书第2版译出 | |
| 330 | @a本书全面论述了微机电系统 (MEMS) 的基础知识, 涵盖了MEMS技术的主要方面, 同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文, 为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例: 惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器, 并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。 | |
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| 微机电系统基础= Foundations of mems/(美) Chang Liu著/黄庆安译.-北京：机械工业出版社，2013.02 |
| XIII, 397页：图；26cm.-(国外电子电气经典教材系列) |
| ←并列题名：Foundations of mems |
| ISBN 978-7-111-40657-0：CNY69.00 |
| 本书全面论述了微机电系统 (MEMS) 的基础知识, 涵盖了MEMS技术的主要方面, 同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文, 为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例: 惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器, 并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。 |
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正题名：微机电系统基础
索取号：TM38/L592-2
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