书目信息 |
| 题名： |
原子层沉积技术
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| 作者： | 李爱东 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2016.06 |
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| 页数： | 381页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | 南京大学材料科学与工程系列丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TB3 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 原子--沉积--技术--高等学校--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-048375-1 | |
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| 原子层沉积技术：原理及其应用/李爱东编著.-北京：科学出版社，2016.06 |
| 381页：图；24cm.-(南京大学材料科学与工程系列丛书) |
| 使用对象：从事材料合成与制备领域的科研工作者和工程技术人员，高等院校材料科学与工程、化学、电子、物理等专业研究生 |
| ISBN 978-7-03-048375-1：CNY98.00 |
| 本书是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术等。 |
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正题名：原子层沉积技术
索取号：TB3/L120-2
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1331490 | 213314901 | 自科库501/501自科库 8排3列2层/ [索取号:TB3/L120-2] | 在馆 | |
| 2 | 1331491 | 213314910 | 期刊室512/501自科库 8排3列3层/ [索取号:TB3/L120-2] | 在馆 |