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000
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01234nam 2200301 450
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001
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0100010623
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005
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20190905093951.0
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@a978-7-121-32880-0@dCNY49.00
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@a20190903d2018 em y0chiy50 ea
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@achi
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@aCN@b110000
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@aak a 000yy
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@ar
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@a半导体薄膜技术基础@Aban dao ti bo mo ji shu ji chu@f李晓干, 刘勐, 王奇编著
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@a北京@c电子工业出版社@d2018.02
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@a140页@c图@d26cm
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@a微电子与集成电路设计系列规划教材@Awei dian zi yu ji cheng dian lu she ji xi lie gui hua jiao cai
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320
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@a有书目 (第134-140页)
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@a本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍, 主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术, 在对各种技术进行介绍的同时, 还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。
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333
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@a普通高等教育“十三五”规划教材
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410
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0
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@12001 @a微电子与集成电路设计系列规划教材
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606
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0
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@a半导体薄膜技术@Aban dao ti bo mo ji shu@x高等教育@j教材
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690
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@aTN304.055@v5
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701
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0
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@a李晓干@Ali xiao gan@4编著
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701
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@a刘勐@Aliu meng@4编著
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701
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0
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@a王奇@Awang qi@4编著
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0
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@aCN@c20190905
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905
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@a河南城建学院图书馆@dTN304.055@eL291
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| 半导体薄膜技术基础/李晓干, 刘勐, 王奇编著.-北京：电子工业出版社，2018.02 |
| 140页：图；26cm.-(微电子与集成电路设计系列规划教材) |
| 使用对象：普通高等教育“十三五”规划教材 |
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| ISBN 978-7-121-32880-0：CNY49.00 |
| 本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍, 主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术, 在对各种技术进行介绍的同时, 还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。 |
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正题名：半导体薄膜技术基础
索取号：TN304.055/L291
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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1438549
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214385495
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自科库301/301自科库 25排4列5层/
[索取号:TN304.055/L291]
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在馆
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2
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1438550
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214385501
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自科库301/301自科库 25排4列5层/
[索取号:TN304.055/L291]
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在馆
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