书目信息 |
| 题名： |
半导体薄膜技术基础
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| 作者： | 李晓干 ， 刘勐 ， 王奇 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 电子工业出版社 2018.02 |
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| 页数： | 140页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | 微电子与集成电路设计系列规划教材 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN304.055 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体薄膜技术--ban dao ti bo mo ji shu--高等教育--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-121-32880-0 | |
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| 330 | @a本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍, 主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术, 在对各种技术进行介绍的同时, 还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。 | |
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| 半导体薄膜技术基础/李晓干, 刘勐, 王奇编著.-北京：电子工业出版社，2018.02 |
| 140页：图；26cm.-(微电子与集成电路设计系列规划教材) |
| 使用对象：普通高等教育“十三五”规划教材 |
| ISBN 978-7-121-32880-0：CNY49.00 |
| 本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍, 主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术, 在对各种技术进行介绍的同时, 还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。 |
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| 相关链接 |
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正题名：半导体薄膜技术基础
索取号：TN304.055/L291
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1438549 | 214385495 | 自科库301/301自科库 34排2列3层/ [索取号:TN304.055/L291] | 在馆 | |
| 2 | 1438550 | 214385501 | 自科库301/301自科库 34排2列3层/ [索取号:TN304.055/L291] | 在馆 |