书目信息

书名: 微电子化学技术基础 
作者: 李薇薇 周健伟 刘玉岭
出版信息: 北京   化学工业出版社  2005.06
开本页数: 26cm  401页
丛书名:
单 册:
中图分类: TN4
科图分类:
主题词: 微电子技术--wei dian zi ji shu--生产工艺--应用化学--高等学校--教材
电子资源:
ISBN: 7-5025-6548-5
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    微电子化学技术基础/刘玉岭, 李薇薇, 周健伟编.-北京:化学工业出版社,2005.06
    401页:图;26cm
    高等学校教材
    
    ISBN 7-5025-6548-5:CNY44.00
    本书主要介绍了衬底材料化学特性、净化技术、IC制备等相关化学基础等,各章之间在技术上既有独立性,又和其他章节相关联。
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正题名:微电子化学技术基础     索取号:TN4/L713         预约/预借

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