书目信息 |
| 题名： |
微电子化学技术基础
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| 作者： | 李薇薇 ， 周健伟 ， 刘玉岭 编 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2005.06 |
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| 页数： | 401页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电子技术--wei dian zi ji shu--生产工艺--应用化学--高等学校--教材 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-5025-6548-5 | |
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| 微电子化学技术基础/刘玉岭, 李薇薇, 周健伟编.-北京：化学工业出版社，2005.06 |
| 401页：图；26cm |
| 高等学校教材 |
| ISBN 7-5025-6548-5：CNY44.00 |
| 本书主要介绍了衬底材料化学特性、净化技术、IC制备等相关化学基础等，各章之间在技术上既有独立性，又和其他章节相关联。 |
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| 相关链接 |
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正题名：微电子化学技术基础
索取号：TN4/L713
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 584686 | 205846860 | 自科库301/301自科库 26排3列1层/ [索取号:TN4/L713] | 在馆 | |
| 2 | 584687 | 205846879 | 自科二线404/301自科库 19排4列1层/ [索取号:TN4/L713] | 在馆 | |
| 3 | 584688 | 205846888 | 自科库301/301自科库 26排3列1层/ [索取号:TN4/L713] | 在馆 |