书目信息 |
题名: |
微电子化学技术基础
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作者: | 李薇薇 , 周健伟 , 刘玉岭 编 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 化学工业出版社 2005.06 |
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页数: | 401页 | |
开本: | 26cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TN4 | |
科图分类: | ||
主题词: | 微电子技术--wei dian zi ji shu--生产工艺--应用化学--高等学校--教材 | |
电子资源: | ||
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微电子化学技术基础/刘玉岭, 李薇薇, 周健伟编.-北京:化学工业出版社,2005.06 |
401页:图;26cm |
高等学校教材 |
ISBN 7-5025-6548-5:CNY44.00 |
本书主要介绍了衬底材料化学特性、净化技术、IC制备等相关化学基础等,各章之间在技术上既有独立性,又和其他章节相关联。 |
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正题名:微电子化学技术基础
索取号:TN4/L713
 
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