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原子层沉积制造技术及生物传感应用= Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications/刘磊著.-北京：化学工业出版社，2024.03 224页：图；25cm ISBN 978-7-122-45124-8(精装)：CNY158.00 本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用, 共分7章, 主要内容包括原子层沉积 (ALD) 技术的基本原理、特点、系统和工作模式, 聚焦于ALD技术的拓展, 涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用, 重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展, 在阐明ALD技术基本原理的同时, 介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。 ●
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21610169
216101698
自科库501/501自科库 12排2列4层/
[索取号:TB303/L643]
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