书目信息

书名: 微传感器、微机电系统和灵巧器件 
作者: 加德纳, 瓦拉旦, 韦德尔卡姆,
出版信息: 北京   清华大学出版社  2004.03
开本页数: 23cm  503页
丛书名: 信息技术学科与电气工程学科系列
单 册:
中图分类: TP212
科图分类:
主题词: 传感器--微型--高等学校--教材--英文 , 微电机--高等学校--教材--英文
电子资源:
ISBN: 7-302-08122-0
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    微传感器、微机电系统和灵巧器件= Microsensors, MEMS and Smart Devices/Julian W.Gardner, Vijay K.Varadan, Osama O.Awadelkarim著.-影印本.-北京:清华大学出版社,2004.03
    503页:图;23cm.-(信息技术学科与电气工程学科系列;31)
    国际知名大学原版教材.-本书根据在版编目著录
    
    ISBN 7-302-08122-0:CNY55.00
    微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍了微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器。
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正题名:微传感器、微机电系统和灵巧器件     索取号:TP212/J210         预约/预借

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