书目信息 |
题名: |
微传感器、微机电系统和灵巧器件
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作者: | 加德纳, , 瓦拉旦, , 韦德尔卡姆, 著 | |
分册: | ||
出版信息: | 北京 清华大学出版社 2004.03 |
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页数: | 503页 | |
开本: | 23cm | |
丛书名: | 信息技术学科与电气工程学科系列 | |
单 册: | ||
中图分类: | TP212 | |
科图分类: | ||
主题词: | 传感器--微型--高等学校--教材--英文 , 微电机--高等学校--教材--英文 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 7-302-08122-0 |
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微传感器、微机电系统和灵巧器件= Microsensors, MEMS and Smart Devices/Julian W.Gardner, Vijay K.Varadan, Osama O.Awadelkarim著.-影印本.-北京:清华大学出版社,2004.03 |
503页:图;23cm.-(信息技术学科与电气工程学科系列;31) |
国际知名大学原版教材.-本书根据在版编目著录 |
ISBN 7-302-08122-0:CNY55.00 |
微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍了微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器。 |
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正题名:微传感器、微机电系统和灵巧器件
索取号:TP212/J210
 
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1 | 528093 | 205280934 | 自科库301/301自科库 36排1列4层/ [索取号:TP212/J210] | 在馆 | |
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