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@a本书主要内容包括: 液环式真空泵; 往复式真空泵; 旋片式油封机械泵; 罗茨式真空泵; 涡旋式真空泵; 其他类型真空泵等。介绍了真空机结构以及加热与测温装置, 真空设备的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、磁控溅射均匀性等方面的设计与计算。
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| 真空获得设备/东北大学, 杨乃恒主编.-第2版.-北京：冶金工业出版社，2001.1 |
| 236页：图；26cm |
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| ISBN 978-7-5024-2572-2：CNY35.00 |
| 本书主要内容包括: 液环式真空泵; 往复式真空泵; 旋片式油封机械泵; 罗茨式真空泵; 涡旋式真空泵; 其他类型真空泵等。介绍了真空机结构以及加热与测温装置, 真空设备的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、磁控溅射均匀性等方面的设计与计算。 |
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正题名：真空获得设备
索取号：TB75/Y232=2
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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1355797
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自科库501/501自科库 19排1列2层/
[索取号:TB75/Y232=2]
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在馆
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2
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自科库501/501自科库 19排1列2层/
[索取号:TB75/Y232=2]
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在馆
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