书目信息 |
| 题名： |
真空获得设备
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| 作者： | 杨乃恒 主编 ；东北大学 主编 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 冶金工业出版社 2001.1 |
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| 页数： | 236页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TB75 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 真空获得设备--zhen kong huo de she bei | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-5024-2572-2 | |
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| 真空获得设备/东北大学, 杨乃恒主编.-第2版.-北京：冶金工业出版社，2001.1 |
| 236页：图；26cm |
| ISBN 978-7-5024-2572-2：CNY35.00 |
| 本书主要内容包括: 液环式真空泵; 往复式真空泵; 旋片式油封机械泵; 罗茨式真空泵; 涡旋式真空泵; 其他类型真空泵等。介绍了真空机结构以及加热与测温装置, 真空设备的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、磁控溅射均匀性等方面的设计与计算。 |
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正题名：真空获得设备
索取号：TB75/Y232=2
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