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001
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@a微电子机械系统@Awei dian zi ji xie tong@f姜岩峰编著
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@a北京@c化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心@d2006
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215
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@a194页@c图@d26cm
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@a本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容, 对该领域的热点研究问题进行了探讨。
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606
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0
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@a微电子技术@Awei dian zi ji@x电子机械@x机械系统
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@b20661214-16@dTN4@eJ531@fTN4/J531
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| 微电子机械系统/姜岩峰编著.-北京：化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心，2006 |
| 194页：图；26cm |
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| ISBN 7-5025-8158-8：CNY28.00 |
| 本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容, 对该领域的热点研究问题进行了探讨。 |
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正题名：微电子机械系统
索取号：TN4/J531
预约/预借
| 序号
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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661214
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206612147
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自科库301/301自科库 26排2列5层/
[索取号:TN4/J531]
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在馆
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2
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661215
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206612156
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自科库301/301自科库 26排2列5层/
[索取号:TN4/J531]
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在馆
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3
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661216
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206612165
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自科库301/301自科库 19排3列5层/
[索取号:TN4/J531]
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在馆
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