书目信息 |
| 题名： |
微电子机械系统
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| 作者： | 姜岩峰 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心 2006 |
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| 页数： | 194页 | |
| 开本： | 26cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN4 ， TH-39 ， TP273 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 微电子技术--wei dian zi ji--电子机械--机械系统 , 自动化系统 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-5025-8158-8 | |
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| 微电子机械系统/姜岩峰编著.-北京：化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心，2006 |
| 194页：图；26cm |
| ISBN 7-5025-8158-8：CNY28.00 |
| 本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容, 对该领域的热点研究问题进行了探讨。 |
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| 相关链接 |
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正题名：微电子机械系统
索取号：TN4/J531
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 661214 | 206612147 | 自科库301/301自科库 19排3列5层/ [索取号:TN4/J531] | 在馆 | |
| 2 | 661215 | 206612156 | 自科库301/301自科库 19排3列5层/ [索取号:TN4/J531] | 在馆 | |
| 3 | 661216 | 206612165 | 自科库301/301自科库 19排3列5层/ [索取号:TN4/J531] | 在馆 |