书目信息 |
| 题名： |
半导体薄膜技术与物理
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| 作者： | 叶志镇 ， 吕建国 ， 吕斌 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 杭州 浙江大学出版社 2008.09 |
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| 页数： | 278页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN304.055 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体膜--ban dao ti mo--薄膜 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-308-06617-4 | |
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| 半导体薄膜技术与物理= Physics and technology of semiconductor thin films/叶志镇 ... [等] 编著.-杭州：浙江大学出版社，2008.09 |
| 278页：图；24cm |
| ISBN 978-7-308-06617-4：CNY36.00 |
| 本书共分十章，主要内容包括了：真空技术，蒸发技术，溅射技术，化学气相沉积，脉冲激光沉积，分子束外延等。 |
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正题名：半导体薄膜技术与物理
索取号：TN304.055/Y475
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 741712 | 207417124 | 自科库301/301自科库 34排2列3层/ [索取号:TN304.055/Y475] | 在馆 | |
| 2 | 741713 | 207417133 | 自科库301/301自科库 34排2列3层/ [索取号:TN304.055/Y475] | 在馆 |