书目信息

书名: 半导体薄膜技术与物理 
作者: 叶志镇 吕建国 吕斌 编著
出版信息: 杭州   浙江大学出版社  2008.09
开本页数: 24cm  278页
丛书名:
单 册:
中图分类: TN304.055
科图分类:
主题词: 半导体膜--ban dao ti mo--薄膜
电子资源:
ISBN: 978-7-308-06617-4
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    半导体薄膜技术与物理= Physics and technology of semiconductor thin films/叶志镇 ... [等] 编著.-杭州:浙江大学出版社,2008.09
    278页:图;24cm
    
    
    ISBN 978-7-308-06617-4:CNY36.00
    本书共分十章,主要内容包括了:真空技术,蒸发技术,溅射技术,化学气相沉积,脉冲激光沉积,分子束外延等。
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正题名:半导体薄膜技术与物理     索取号:TN304.055/Y475         预约/预借

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