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@a微光学和纳米光学制造技术@Awei guang xue he na mi guang xue zhi zao ji shu@f(美) 凯米编著@F(mei)kai mi bian zhu@g周海宪，程云芳译
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@a北京@c机械工业出版社@d2012.09
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@a12, 196页@c图@d24cm
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@a国际信息工程先进技术译丛
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@a封面英文题名：Microoptics and nanooptics fabrication
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@a本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括：面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。
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@dTN223@eK172@f2
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| 微光学和纳米光学制造技术/(美) 凯米编著/周海宪，程云芳译.-北京：机械工业出版社，2012.09 |
| 12, 196页：图；24cm.-(国际信息工程先进技术译丛) |
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| ISBN 978-7-111-39448-8：CNY66.00 |
| 本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括：面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。 |
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正题名：微光学和纳米光学制造技术
索取号：TN223/K172
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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805943
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208059438
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自科库301/301自科库 25排3列2层/
[索取号:TN223/K172]
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在馆
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2
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805944
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208059447
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自科库301/301自科库 25排3列2层/
[索取号:TN223/K172]
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在馆
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