书目信息 |
| 题名： |
电子束曝光微纳加工技术
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| 作者： | 顾文琪 著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 北京工业大学出版社 2004.08 |
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| 页数： | 310页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN305.7 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 半导体技术 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 7-5639-1300-9 | |
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| 电子束曝光微纳加工技术/顾文琪著.-北京：北京工业大学出版社，2004.08 |
| 310页；24cm |
| 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
| ISBN 7-5639-1300-9：CNY50.00 |
| 本书系统的介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标。 |
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正题名：电子束曝光微纳加工技术
索取号：TN305.7/G510
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 914198 | 209141980 | 自科库301/301自科库 26排1列2层/ [索取号:TN305.7/G510] | 在馆 | |
| 2 | 914199 | 209141999 | 自科二线404/404自科库 18排3列1层/ [索取号:TN305.7/G510] | 在馆 | |
| 3 | 914200 | 209142006 | 自科库301/301自科库 26排1列2层/ [索取号:TN305.7/G510] | 在馆 |