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序号 索取号 正题名 责任者 出版者 出版日期
1 TN43/J359   MEMS三维芯片集成技术 (日) 江刺正喜主编;张景然, 石广丰译   化学工业出版社   2023.07  
2 TN405/S638   现代集成电路制造技术 (印) 库玛尔·舒巴姆, 安卡·古普塔著;石广   化学工业出版社   2024.08  
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