书目信息 |
| 题名： |
中国电子信息工程科技发展研究
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| 作者： | ；中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 编著 | |
| 分册： | 集成电路芯片制造工艺专题 | |
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2019.10 |
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| 页数： | 72页 | |
| 开本： | 21cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | G203:1 ， TN405 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 电子信息--dian zi xin xi--信息工程--科技发展--研究--中国 , 集成芯片--ji cheng xin pian--制造--科技发展--研究--中国 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-062359-1 | |
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| 330 | @a本书试图以产业发展主流工艺为导向, 侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍, 尽量避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述, 并在单项工艺角色介绍后, 解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。 | |
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| 中国电子信息工程科技发展研究.集成电路芯片制造工艺专题/中国信息与电子工程科技发展战略研究中心.-北京：科学出版社，2019.10 |
| 72页：图；21cm |
| ISBN 978-7-03-062359-1：CNY99.00 |
| 本书试图以产业发展主流工艺为导向, 侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍, 尽量避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述, 并在单项工艺角色介绍后, 解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。 |
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正题名：中国电子信息工程科技发展研究
索取号：G203/Z657
预约/预借
| 序号 | 登录号 | 条形码 | 馆藏地/架位号 | 状态 | 备注 |
| 1 | 1482680 | 214826802 | 社科库409/409社科库 57排2列2层/ [索取号:G203/Z657] | 在馆 | |
| 2 | 1482683 | 214826839 | 社科库409/409社科库 100排6列2层/ [索取号:G203/Z657] | 在馆 |