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@achi
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@a北京@c科学出版社@d2019.10
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@a72页@c图@d21cm
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@a有书目 (第71-72页)
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@a本书试图以产业发展主流工艺为导向, 侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍, 尽量避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述, 并在单项工艺角色介绍后, 解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。
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| 中国电子信息工程科技发展研究.集成电路芯片制造工艺专题/中国信息与电子工程科技发展战略研究中心.-北京：科学出版社，2019.10 |
| 72页：图；21cm |
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| ISBN 978-7-03-062359-1：CNY99.00 |
| 本书试图以产业发展主流工艺为导向, 侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍, 尽量避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述, 并在单项工艺角色介绍后, 解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。 |
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正题名：中国电子信息工程科技发展研究
索取号：G203/Z657
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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1482680
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214826802
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社科库409/409社科库 57排2列2层/
[索取号:G203/Z657]
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在馆
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2
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1482683
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214826839
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社科库409/409社科库 100排6列2层/
[索取号:G203/Z657]
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在馆
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