书目信息 |
题名: |
微电子制造工艺技术
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作者: | 肖国玲 主编 | |
分册: | ||
出版信息: | 西安 西安电子科技大学出版社 2008.09 |
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页数: | 198页 | |
开本: | 26cm | |
丛书名: | ||
单 册: | ||
中图分类: | TN405 | |
科图分类: | ||
主题词: | 微电子技术--wei dian zi ji shu--生产工艺--高等教育--教材 | |
电子资源: | ||
ISBN: | 978-7-5606-2103-6 |
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微电子制造工艺技术/肖国玲主编.-西安:西安电子科技大学出版社,2008.09 |
198页:图;26cm |
中国高等职业技术教育研究会推荐 高职高专电子、通信类专业“十一五”规划教材 |
ISBN 978-7-5606-2103-6:CNY18.00 |
本书内容包括:半导体工业概述、半导体材料基础知识、晶体生长和晶圆制备、光刻、掺杂、封装、污染控制等共10章。 |
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正题名:微电子制造工艺技术
索取号:TN405/X291
 
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1 | 755085 | 207550853 | 自科库301/301自科库 20排1列3层/ [索取号:TN405/X291] | 在馆 | |
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