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@a集成电路工艺中的化学品@Aji cheng dian lu gong yi zhong de hua xue pin@f戴猷元, 张谨编@Fdai you yuan,zhang jin bian
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210
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@a北京@c化学工业出版社@d2007.03
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215
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@a188页@c图@d24cm
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320
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@a有书目 (第173-186页)。
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330
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@a本书共7章，内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。
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@a化工产品@Ahua gong chan pin@x应用@x集成电路工艺
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| 集成电路工艺中的化学品/戴猷元, 张谨编.-北京：化学工业出版社，2007.03 |
| 188页：图；24cm |
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| ISBN 978-7-5025-9934-8：CNY28.00 |
| 本书共7章，内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。 |
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正题名：集成电路工艺中的化学品
索取号：TN405/D148
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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261669
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202616696
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自科库301/301自科库 26排4列2层/
[索取号:TN405/D148]
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在馆
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2
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261670
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202616703
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自科库301/301自科库 26排4列2层/
[索取号:TN405/D148]
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在馆
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