书目信息 |
| 题名： |
集成电路工艺中的化学品
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| 作者： | 戴猷元, ， 张谨 编 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 化学工业出版社 2007.03 |
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| 页数： | 188页 | |
| 开本： | 24cm | |
| 丛书名： | ||
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN405 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 化工产品--hua gong chan pin--应用--集成电路工艺 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-5025-9934-8 | |
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| 集成电路工艺中的化学品/戴猷元, 张谨编.-北京：化学工业出版社，2007.03 |
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| ISBN 978-7-5025-9934-8：CNY28.00 |
| 本书共7章，内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。 |
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正题名：集成电路工艺中的化学品
索取号：TN405/D148
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