书目信息

书名: 三维集成电路制造技术 
作者: 王文武 主编
出版信息: 北京   电子工业出版社  2022.07
开本页数: 24cm  15, 360页
丛书名: 集成电路系列丛书
单 册:
中图分类: TN405
科图分类:
主题词: 集成电路工艺--ji cheng dian lu gong yi
电子资源:
ISBN: 978-7-121-43902-5
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    三维集成电路制造技术/主编王文武.-北京:电子工业出版社,2022.07
    15, 360页:图;24cm.-(集成电路系列丛书.集成电路制造)
    “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 国家出版基金项目 集成电路产业知识赋能工程
    
    ISBN 978-7-121-43902-5(精装):CNY139.00
    本书介绍了三维集成电路制造工艺、FinFET和纳米环栅器件、三维NAND闪存、新型存储器件、三维单片集成、三维封装等关键核心技术。
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正题名:三维集成电路制造技术     索取号:TN405/W370         预约/预借

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